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发明名称 DEFECT DETECTION DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05126514(A) 申请公布日期 1993.05.21
申请号 JP19910285876 申请日期 1991.10.31
申请人 NEC CORP 发明人 SATO AKIHIRO
分类号 G01B7/34;G01B21/30 主分类号 G01B7/34
代理机构 代理人
主权项
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