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发明名称 PATTERN FORMING METHOD
摘要
申请公布号 JPH05121312(A) 申请公布日期 1993.05.18
申请号 JP19910306483 申请日期 1991.10.25
申请人 NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT> 发明人 MIZOTA TSUTOMU;KURIHARA KENJI;KINOSHITA HIROO;HAGA TSUNEYUKI
分类号 G03F7/20;H01L21/027;H01L21/302;H01L21/3065 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
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