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发明名称 VERFAHREN ZUM WACHSTUM EINER DUENNEN SCHICHT FUER EINEN ZUSAMMENGESETZTEN HALBLEITER.
摘要
申请公布号 DE3688028(D1) 申请公布日期 1993.04.22
申请号 DE19863688028 申请日期 1986.09.09
申请人 SUMITOMO ELECTRIC INDUSTRIES, LTD., OSAKA, JP 发明人 MATSUI, YUICHI OSAKA WORKS OF SUMITOMO LTD., OSAKA-SHI OSAKU-FU, JP
分类号 C23C14/00;C23C14/34;C30B23/02;H01L21/20;H01L21/203;(IPC1-7):H01L21/203;C30B29/40 主分类号 C23C14/00
代理机构 代理人
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