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发明名称 PRODUCTION OF GASEOUS NITROGEN TRIFLUORIDE
摘要
申请公布号 JPH0570982(A) 申请公布日期 1993.03.23
申请号 JP19910139539 申请日期 1991.05.16
申请人 WATANABE NOBUATSU;MITSUI TOATSU CHEM INC 发明人 WATANABE NOBUATSU;TEI YOUHOU;KANAMARU MUNEAKI;ARITSUKA MAKOTO;MITSUMOTO ATSUHISA
分类号 C01B21/083;C25B1/24;C25B9/00;C25B11/12 主分类号 C01B21/083
代理机构 代理人
主权项
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