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发明名称 TEMPERATURE CONTROL METHOD OF SPECIMEN HOLDER
摘要
申请公布号 JPH0541350(A) 申请公布日期 1993.02.19
申请号 JP19910000796 申请日期 1991.01.09
申请人 NEC CORP 发明人 KANAMARU TOYOMI
分类号 H01L21/027 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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