发明名称 SUBSTRATE DRYING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0536660(A) 申请公布日期 1993.02.12
申请号 JP19910211461 申请日期 1991.07.30
申请人 TOKYO ELECTRON LTD 发明人 NEBUKA KENJI;MASUOKA NOBORU
分类号 B05B1/04;B08B11/04;G02F1/1333;H01L21/304;H05K3/26 主分类号 B05B1/04
代理机构 代理人
主权项
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