| 发明名称 |
FORMATION OF CORROSION RESISTANT FILM, AND SEMICONDUCTOR DEVICE AND OPTICAL RECORDING MEDIUM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0536690(A) |
申请公布日期 |
1993.02.12 |
| 申请号 |
JP19910208910 |
申请日期 |
1991.07.26 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
MINOWA EMIKO;KOBAYASHI SHIRO;FUJII KAZUMI;ITO MASAHIKO |
| 分类号 |
C23F11/02;H01L21/3205;H01L23/52 |
主分类号 |
C23F11/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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