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发明名称
BEAM ANNEALING METHOD
摘要
申请公布号
JPH0529215(A)
申请公布日期
1993.02.05
申请号
JP19910181185
申请日期
1991.07.22
申请人
NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT>
发明人
NAKADA JOJI
分类号
H01L21/20;H01L21/263;H01L21/268;H01L21/324
主分类号
H01L21/20
代理机构
代理人
主权项
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