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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0521594(A) 申请公布日期 1993.01.29
申请号 JP19910201387 申请日期 1991.07.16
申请人 NIPPON STEEL CORP 发明人 YASUDA HIROYASU;KAWAMURA KOICHIRO
分类号 H01L21/76 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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