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发明名称 EVALUATING METHOD FOR DAMAGE IN SEMICONDUCTOR DEVICE MANUFACTURE PROCESS
摘要
申请公布号 JPH0521573(A) 申请公布日期 1993.01.29
申请号 JP19910169938 申请日期 1991.07.10
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 OBUSE KAZUHIRO
分类号 H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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