同心环芯纳米硅微盘微腔器件及其制备方法

摘要

本发明公开了一种同心环芯纳米硅微盘微腔器件及其制备方法，属于半导体光电子器件技术领域。该同心环芯纳米硅微盘微腔器件包括硅衬底和微盘，所述微盘包括同轴设置的外围微盘和内围微盘，内围微盘直接形成于外围微盘上，外围微盘与内围微盘的边缘部熔合形成环状盘腔结构，其中，内围微盘为含有硅纳米量子点结构的薄膜层。本发明将纳米硅量子点结构和微盘微腔结构有机结合，同时又把纳米硅发光区域与微盘环芯结构相分离，既利用了纳米硅良好的光增益特性，又减少了谐振过程中的非辐射自由载流子吸收，实现纳米硅同心环芯微腔的高效率的光发射，同时，该同心环芯纳米硅微盘微腔器件制备工艺简单，参数精确可调，与现行成熟的硅工艺相兼容。

主权项

一种同心环芯纳米硅微盘微腔器件，包括硅衬底和微盘，所述微盘经形成于硅衬底上微盘支柱与硅衬底连接，其特征在于，所述微盘包括同轴设置的外围微盘和内围微盘，所述内围微盘直接形成于外围微盘上，且所述外围微盘与内围微盘的边缘部熔合形成环状盘腔结构；所述的外围微盘为氧化硅薄膜层；所述内围微盘为含有硅纳米量子点结构的薄膜层。