发明名称 |
PROJECTING EXPOSURE DEVICE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH0513300(A) |
申请公布日期 |
1993.01.22 |
申请号 |
JP19910185298 |
申请日期 |
1991.06.28 |
申请人 |
MITSUBISHI ELECTRIC CORP |
发明人 |
NAI YASUTO;MIYAMOTO TERUO;UCHIYAMA TOSHIE;ZUMOTO NOBUYUKI;YAGI TOSHINORI;KAMON KAZUYA;TANAKA MASAAKI |
分类号 |
G02B27/00;G03F7/20;H01L21/027;H01L21/30 |
主分类号 |
G02B27/00 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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