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发明名称 STRUCTURE AND METHOD FOR CONTACTS IN CMOS DEVICES
摘要
申请公布号 EP0520658(A3) 申请公布日期 1993.01.20
申请号 EP19920305413 申请日期 1992.06.12
申请人 SGS-THOMSON MICROELECTRONICS, INC. 发明人 CHEN, FUSEN;DIXIT, GIRISH;BRYANT, FRANK RANDOLPH
分类号 H01L21/28;H01L21/3205;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/311 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
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