MICROMINIATURE TAPERED ALL-METAL STRUCTURES

摘要

Procédé de fabrication de pointes entièrement métalliques (28), par exemple les sources d'émission de champ (30, 32) d'un dispositif d'affichage matriciel. Pour obtenir des pointes entièrement métalliques ultra-effilées (28), on dépose un matériau fondu sur des pointes de silicium ultra-effilées (22) et on enlève ensuite le silicium pour former un moule. Le métal (22) déposé dans le moule reproduit la structure en pointe en silicium.