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发明名称 LSI COMPONENT OF WSI CHIP
摘要
申请公布号 JPH04352354(A) 申请公布日期 1992.12.07
申请号 JP19910124360 申请日期 1991.05.29
申请人 NEC CORP;NEC ENG LTD 发明人 WATABE YASUNORI;MURAKAMI YUKIO
分类号 H01L21/82;H01L21/822;H01L27/04;H01L27/10 主分类号 H01L21/82
代理机构 代理人
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