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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH04349629(A) 申请公布日期 1992.12.04
申请号 JP19910121684 申请日期 1991.05.28
申请人 HITACHI LTD 发明人 HARUTA AKIRA;SUZUKI MASAYASU;KATO TOKIO
分类号 H01L21/31;H01L21/316 主分类号 H01L21/31
代理机构 代理人
主权项
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