发明名称
摘要
申请公布号 JPH0451472(Y2) 申请公布日期 1992.12.03
申请号 JP19860122017U 申请日期 1986.08.08
申请人 发明人
分类号 C30B23/08;C30B23/02;H01L21/203;H01L21/26;(IPC1-7):H01L21/203 主分类号 C30B23/08
代理机构 代理人
主权项
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