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发明名称 METHOD OF TREATING SUBSTRATE AND APPARATUS FOR THE SAME
摘要
申请公布号 EP0481506(A3) 申请公布日期 1992.11.25
申请号 EP19910117815 申请日期 1991.10.18
申请人 KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA 发明人 OKUMURA, KATSUYA
分类号 G03F7/30;C25D5/02;C25D7/12;H01L21/00;H01L21/027;H01L21/30;H01L21/304;H01L21/60;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 G03F7/30
代理机构 代理人
主权项
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