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发明名称
摘要
申请公布号 JPH0469530(B2) 申请公布日期 1992.11.06
申请号 JP19870040766 申请日期 1987.02.24
申请人 TOKYO SEIMITSU CO LTD 发明人 HONDA KATSUO;TSUKADA SHUICHI
分类号 B28D5/02;B23Q3/08;B28D1/22;B28D5/00;H01L21/304 主分类号 B28D5/02
代理机构 代理人
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