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发明名称 PARALLEL SCANNING METHOD FOR ION BEAM
摘要
申请公布号 JPH04301345(A) 申请公布日期 1992.10.23
申请号 JP19910091119 申请日期 1991.03.28
申请人 NISSIN ELECTRIC CO LTD 发明人 ISOBE MICHIROU
分类号 C23C14/48;H01J37/147;H01J37/317;H01L21/265 主分类号 C23C14/48
代理机构 代理人
主权项
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