| 发明名称 |
COMPENSATOR OF AN ELECTRODE GAP FOR A PLASMA ETCHING DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR920007917(Y1) |
申请公布日期 |
1992.10.22 |
| 申请号 |
KR19900021166U |
申请日期 |
1990.12.27 |
| 申请人 |
GOLDSTAR ELECTRON CO., LTD. |
发明人 |
BAE, BYONG - CHOL |
| 分类号 |
C23F13/00;(IPC1-7):C23F13/00 |
主分类号 |
C23F13/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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