发明名称 Process for reducing the dimensions of monocrystalline bodies of semiconductor material
摘要
申请公布号 GB987971(A) 申请公布日期 1965.03.31
申请号 GB19640011128 申请日期 1964.03.17
申请人 SIEMENS & HALSKE AKTIENGESELLSCHAFT 发明人
分类号 B24B1/00;B24B37/00;C23F3/00;C23F3/04;H01L21/306 主分类号 B24B1/00
代理机构 代理人
主权项
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