| 发明名称 |
MANUFACTURING METHOD OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH04263429(A) |
申请公布日期 |
1992.09.18 |
| 申请号 |
JP19910023509 |
申请日期 |
1991.02.18 |
| 申请人 |
SHARP CORP |
发明人 |
TANIGAWA MAKOTO;OKAZAKI SHINGO |
| 分类号 |
H01L21/302;H01L21/304;H01L21/306;H01L21/311;H01L21/312;H01L21/316 |
主分类号 |
H01L21/302 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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