| 发明名称 |
APPARATUS FOR COATING A SUBSTRATE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0370027(B1) |
申请公布日期 |
1992.09.16 |
| 申请号 |
EP19880905315 |
申请日期 |
1988.05.17 |
| 申请人 |
ELF ATOCHEM NORTH AMERICA, INC. |
发明人 |
LINDNER, GEORG, HEINRICH |
| 分类号 |
C03C17/245;C03C17/00;C23C16/44;C23C16/455;C23C16/54 |
主分类号 |
C03C17/245 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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