发明名称 OPTICAL TEST INSPECTION METHOD OF OBJECT TO BE TESTED
摘要
申请公布号 JPH04249753(A) 申请公布日期 1992.09.04
申请号 JP19910086469 申请日期 1991.04.18
申请人 CARL ZEISS:FA 发明人 KURAUSU FURAISHIYURAATO
分类号 G01B11/24;G01M11/00;G01N21/88;G01N21/93;G06T7/00;H04N7/18 主分类号 G01B11/24
代理机构 代理人
主权项
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