| 发明名称 |
VAPOR-EJECTING SOURCE FOR EPITAXIAL DEPOSITION INSTALLATION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH04228494(A) |
申请公布日期 |
1992.08.18 |
| 申请号 |
JP19910103465 |
申请日期 |
1991.04.09 |
| 申请人 |
CSELT SPA (CENT STUD E LAB TELECOMUN) |
发明人 |
FUERUNANDO JIENOBUA;JIYURIAANA MORERO |
| 分类号 |
C30B23/08;C30B23/06;H01L21/203 |
主分类号 |
C30B23/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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