发明名称 PROJECTION ALIGNER
摘要
申请公布号 JPH04219919(A) 申请公布日期 1992.08.11
申请号 JP19900412547 申请日期 1990.12.20
申请人 CANON INC 发明人 TSUKAMOTO IZUMI;ISHII HIROYUKI
分类号 G03F7/20;H01L21/027;H01L21/30 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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