发明名称 BOAT FOR EPITAXIALLY GROWING SEMICONDUCTOR IN LIQUID-PHASE
摘要
申请公布号 JPH04219926(A) 申请公布日期 1992.08.11
申请号 JP19900411697 申请日期 1990.12.19
申请人 SUMITOMO ELECTRIC IND LTD 发明人 INOGUCHI YASUHIRO
分类号 H01L21/208 主分类号 H01L21/208
代理机构 代理人
主权项
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