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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04216618(A) 申请公布日期 1992.08.06
申请号 JP19900417713 申请日期 1990.12.14
申请人 SHARP CORP 发明人 ONISHI SHIGEO;AYUKAWA AKITSU
分类号 H01L21/265;H01L21/26;H01L21/336;H01L29/78 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
主权项
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