| 发明名称 |
SCRUBBING AND CLEANING MACHINE, AND SCRUBBING AND CLEANING METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH04209530(A) |
申请公布日期 |
1992.07.30 |
| 申请号 |
JP19900400589 |
申请日期 |
1990.12.06 |
| 申请人 |
FUJITSU LTD |
发明人 |
KANEMITSU HIDEYUKI;HIRUUMI JIYUNJI |
| 分类号 |
H01L21/304;B08B1/00;B08B6/00 |
主分类号 |
H01L21/304 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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