| 发明名称 |
FILM FOR WAFER PROCESSING |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH04199516(A) |
申请公布日期 |
1992.07.20 |
| 申请号 |
JP19900325506 |
申请日期 |
1990.11.29 |
| 申请人 |
MITSUI TOATSU CHEM INC |
发明人 |
TAKEMURA YASUO;NARIMATSU OSAMU;KOMATSU KAZUYOSHI;TAKEUCHI YOKO |
| 分类号 |
C09J7/02;C09J201/00;H01L21/304 |
主分类号 |
C09J7/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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