发明名称
摘要
申请公布号 JPH0479432(U) 申请公布日期 1992.07.10
申请号 JP19900110348U 申请日期 1990.10.22
申请人 发明人
分类号 H01L21/66;B65G59/06;G01R31/26;H01L21/673;H01L21/677;H01L21/68;H05K13/00;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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