| 发明名称 |
OPTICAL SURFACE TREATMENT METHOD AND DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH04188621(A) |
申请公布日期 |
1992.07.07 |
| 申请号 |
JP19900314954 |
申请日期 |
1990.11.19 |
| 申请人 |
CANON INC |
发明人 |
KAWATE SHINICHI;SATO YASUE;KOMATSU TOSHIYUKI |
| 分类号 |
C23C16/04;C23F4/00;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065 |
主分类号 |
C23C16/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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