发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH04188863(A) 申请公布日期 1992.07.07
申请号 JP19900318917 申请日期 1990.11.22
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 MUKOGAWA YASUKAZU
分类号 H01L27/00;H01L21/02 主分类号 H01L27/00
代理机构 代理人
主权项
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