发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04186881(A) 申请公布日期 1992.07.03
申请号 JP19900314164 申请日期 1990.11.21
申请人 HITACHI LTD;HITACHI HARAMACHI SEMICONDUCTOR LTD 发明人 IWABUCHI KATSUHIRO;KUROSU TOSHIKI;MUSHA SHUJI
分类号 H01L29/78 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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