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发明名称 METHOD OF PRODUCING FIELD EFFECT TRANSISTOR
摘要
申请公布号 US5124272(A) 申请公布日期 1992.06.23
申请号 US19900565960 申请日期 1990.08.13
申请人 SEIKO INSTRUMENTS, INC. 发明人 SAITO, NAOTO;AOKI, KENJI;AKAMINE, TADAO;KOJIMA, YOSHIKAZU;TAKAHASHI, KUNIHIRO;KINBARA, MASAHIKO
分类号 H01L21/225;H01L21/336 主分类号 H01L21/225
代理机构 代理人
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