发明名称 HEAT TREATMENT OF MULTILAYERED THIN FILM STRUCTURES EMPLOYING OXIDE PARTING LAYERS
摘要
申请公布号 US3544287(A) 申请公布日期 1970.12.01
申请号 USD3544287 申请日期 1967.04.13
申请人 WESTERN ELECTRIC CO. INC. 发明人 DONALD JEX SHARP
分类号 H01C1/142;H01C17/08;H01C17/30;H01L21/70;H01L49/02;(IPC1-7):H01C7/00;H01C17/00 主分类号 H01C1/142
代理机构 代理人
主权项
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