| 发明名称 |
TEMPERATURE MEASURING INSTRUMENT FOR PHOTOIRRADIATION HEATED SUBSTRATE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH04148545(A) |
申请公布日期 |
1992.05.21 |
| 申请号 |
JP19900274989 |
申请日期 |
1990.10.11 |
| 申请人 |
DAINIPPON SCREEN MFG CO LTD |
发明人 |
TAKAHASHI MITSUKAZU;CHIBA TAKATOSHI;NISHII KIYOBUMI |
| 分类号 |
H01L21/66;H01L21/00;H01L21/26 |
主分类号 |
H01L21/66 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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