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发明名称 TESTING DEVICE OF INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPH04148540(A) 申请公布日期 1992.05.21
申请号 JP19900274328 申请日期 1990.10.12
申请人 NEC CORP 发明人 TAKAHASHI YUTAKA
分类号 G01R31/26;G01R1/073;H01L21/66 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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