发明名称 STRAIGHTNESS INTERFEROMETER SYSTEM
摘要
申请公布号 EP0333783(B1) 申请公布日期 1992.05.20
申请号 EP19880907351 申请日期 1988.08.24
申请人 RENISHAW PLC 发明人 CHANEY, RAYMOND, JOHN;MCMURTRY, DAVID, ROBERTS
分类号 G01B9/02;G01B11/24;G01B11/30;G01D5/26 主分类号 G01B9/02
代理机构 代理人
主权项
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