发明名称 MULTI-AXIS INPUT DEVICE OF SEMICONDUCTOR THREE-AXIS STRESS SENSOR
摘要
申请公布号 JPH04143626(A) 申请公布日期 1992.05.18
申请号 JP19900267599 申请日期 1990.10.05
申请人 ENPLAS CORP 发明人 KAJIWARA YASUSHI
分类号 G01L1/00;G01L1/02;G01L5/16;G01L9/00;G01L9/04;H01L29/84 主分类号 G01L1/00
代理机构 代理人
主权项
地址
您可能感兴趣的专利