| 发明名称 |
METHOD AND DEVICE FOR MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH04130632(A) |
申请公布日期 |
1992.05.01 |
| 申请号 |
JP19900252545 |
申请日期 |
1990.09.20 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
HAGIMAE HIROAKI;WATANABE MASAHIRO |
| 分类号 |
H01L21/3205;C23C18/16;H01L21/288 |
主分类号 |
H01L21/3205 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
