发明名称 INTEGRATION OF GAAS ON SI SUBSTRATES
摘要
申请公布号 US5108947(A) 申请公布日期 1992.04.28
申请号 US19900470356 申请日期 1990.01.25
申请人 AGFA-GEVAERT N.V. 发明人 DEMEESTER, PIET M.;ACKAERT, ANN M.;VAN DAELE, PETER P.;LOOTENS, DIRK U.
分类号 H01L33/00;H01L21/20;H01L21/205;H01L27/15 主分类号 H01L33/00
代理机构 代理人
主权项
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