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发明名称 CHEMICAL VAPOR DEPOSITION APPARATUS OF IN-LINE TYPE
摘要
申请公布号 EP0430079(A3) 申请公布日期 1992.03.18
申请号 EP19900122334 申请日期 1990.11.22
申请人 NIHON SHINKU GIJUTSU KABUSHIKI KAISHA 发明人 NAKAMURA, KYUZO, CHIBA CHOZAIRYO KENKYUJO;ISHIKAWA, MICHIO, CHIBA CHOZAIRYO KENKYUJO;ITO, KAZUYUKI, CHIBA CHOZAIRYO KENKYUJO;TANI, NORIAKI, CHIBA CHOZAIRYO KENKYUJO;HASHIMOTO, MASANORI, CHIBA CHOZAIRYO KENKYUJO;OTA, YOSHIFUMI, CHIBA CHOZAIRYO KENKYUJO
分类号 C23C16/44;C23C16/02;C23C16/50;C23C16/54;C23F4/00;H01L21/205;H01L21/31;(IPC1-7):C23C16/54;H01L21/02 主分类号 C23C16/44
代理机构 代理人
主权项
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