| 发明名称 |
MANUFACTURE OF COMPOUND SEMICONDUCTOR CRYSTAL |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0472741(A) |
申请公布日期 |
1992.03.06 |
| 申请号 |
JP19900185577 |
申请日期 |
1990.07.13 |
| 申请人 |
FUJITSU LTD |
发明人 |
OZAKI KAZUO;YAMAMOTO KOSAKU;UEDA TOSHIYUKI;SAITO TETSUO;YAMAMOTO TAMOTSU |
| 分类号 |
H01L21/76;H01L21/208;H01L21/368;H01L27/14;H01L27/146;H01L31/0264 |
主分类号 |
H01L21/76 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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