发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0472621(A) 申请公布日期 1992.03.06
申请号 JP19900183917 申请日期 1990.07.13
申请人 HITACHI LTD 发明人 TAMAOKI MASUKAZU
分类号 H01L21/302;H01L21/28 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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