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发明名称 SCREENING METHOD FOR DEFECTS OF WAFER SURFACE PROTECTING INSULATIVE FILM
摘要
申请公布号 JPH01307239(A) 申请公布日期 1989.12.12
申请号 JP19880138223 申请日期 1988.06.03
申请人 NEC YAMAGATA LTD 发明人 ARAI MASAICHI
分类号 G01N27/20;G01N27/92;H01L21/66 主分类号 G01N27/20
代理机构 代理人
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