发明名称 MANUFACTURE OF COMPOUND SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0467676(A) 申请公布日期 1992.03.03
申请号 JP19900180778 申请日期 1990.07.09
申请人 NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT> 发明人 WATANABE KAZUO;YAMAZAKI HAJIME
分类号 H01L29/68;H01L21/205;H01L21/324;H01L29/20 主分类号 H01L29/68
代理机构 代理人
主权项
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