发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0464225(A) 申请公布日期 1992.02.28
申请号 JP19900179014 申请日期 1990.07.04
申请人 FUJITSU LTD 发明人 SATO AKIRA;MATSUO JIRO
分类号 H01L21/302 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
地址