发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR PRODUCING COMPOUND SINGLE CRYSTAL
摘要
申请公布号 JPH07330479(A) 申请公布日期 1995.12.19
申请号 JP19940121456 申请日期 1994.06.02
申请人 KOBE STEEL LTD 发明人 FUJIKAWA TAKAO;UEHARA KAZUHIRO;SAKASHITA YOSHIHIKO;OKADA HIROSHI
分类号 C30B11/00;C30B29/48;H01L21/203;(IPC1-7):C30B11/00 主分类号 C30B11/00
代理机构 代理人
主权项
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